潔凈度等級(jí):根據(jù)空氣中顆粒物的數(shù)量和大小來劃分,常見的有ISO 1-9級(jí),以及中國(guó)的萬級(jí)、十萬級(jí)、百萬級(jí)等標(biāo)準(zhǔn)。這些等級(jí)反映了潔凈室內(nèi)空氣的潔凈程度。 換氣次數(shù):?jiǎn)挝粫r(shí)間內(nèi)潔凈室內(nèi)空氣的更換次數(shù)。不同潔凈度等級(jí)的房間有不同的換氣次數(shù)要求,例如十萬級(jí)潔凈室為10-15次/小時(shí),萬級(jí)潔凈室為15-25次/小時(shí),千級(jí)潔凈室為50-52次/小時(shí)等。 溫濕度:潔凈室內(nèi)的溫度和濕度需要控制在一定范圍內(nèi),以保證生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。通常,溫度控制在冬季>16℃±2℃,夏季<26℃±2℃,而濕度控制在45-65%(RH)之間。 壓差:潔凈室與其相鄰房間之間需要保持一定的壓差,以防止外界空氣未經(jīng)處理就進(jìn)入潔凈室。主車間對(duì)相鄰房間的壓差應(yīng)≥5Pa。 噪聲:潔凈室內(nèi)的噪聲應(yīng)控制在一定范圍內(nèi),以保證人員的舒適度和避免對(duì)生產(chǎn)過程造成干擾。噪聲通常要求≤65dB(A)或更低。 照度:潔凈室內(nèi)的照度應(yīng)滿足生產(chǎn)和操作的需求。照度要求通常≥300Lux,但在一些特殊區(qū)域,如工作臺(tái)、檢查臺(tái)等,照度可能要求更高。 空氣流速與氣流分布:潔凈室內(nèi)的空氣流速和氣流分布對(duì)維持潔凈度至關(guān)重要。通過合理設(shè)計(jì)送風(fēng)口、回風(fēng)口和氣流組織方式,可以實(shí)現(xiàn)均勻的氣流分布和適當(dāng)?shù)目諝饬魉佟?靜電控制:在微電子等行業(yè)中,靜電可能對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量造成嚴(yán)重影響。因此,潔凈室需要采取適當(dāng)?shù)撵o電控制措施,如使用抗靜電材料、設(shè)置靜電消除器等。
潔凈室,也被稱為無塵室或清凈室,是一個(gè)密閉性較好的空間,其內(nèi)部空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)都根據(jù)需要進(jìn)行嚴(yán)格控制。這種空間主要用于需要高潔凈度環(huán)境的行業(yè),如精密機(jī)械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導(dǎo)體工業(yè)(如大規(guī)模集成電路生產(chǎn))、宇航、原子能等。